样品与前置条件
- 真空兼容、尺寸适配样品仓
- 绝缘样品需选择导电处理并记录镀层
- 定量分析区域应平整且几何可控
建议工作流
- 低倍 SE/BSE 定位并记录工作距离
- 根据目标调整加速电压、束流和孔径
- 确认计数率、死时间与谱峰
- 采集原始谱及必要的点线面数据
- 使用标样或经验证的无标样模型定量并报告不确定度
结果怎么解释
- SE 更敏感于形貌，BSE 常反映平均原子序数差异
- 峰存在支持元素存在，但化学态通常不能由常规 EDS 确定
- 元素图需结合总计数和空间分辨率判断
局限与常见误区
- 轻元素和痕量分析受限
- 纳米颗粒可能小于 X 射线相互作用体积
- 粗糙断口上的定量通常为半定量
标准与权威来源
请在正式试验前核对适用产品标准、设备 SOP 和标准的现行版本。