样品与前置条件
- 目标区域需减薄至电子透明
- FIB 制样应控制离子损伤和再沉积
- 敏感材料需评估剂量和低温方案
建议工作流
- 用低倍手段确定目标区域和取样坐标
- 机械/电解或 FIB 制备薄区并记录方向
- 低剂量定位后选择成像与衍射条件
- 采集校准图像、衍射和必要谱学数据
- 用厚度、模拟或标准样验证解释
结果怎么解释
- 衍射对比取决于取向和厚度
- HRTEM 图像通常需要成像模拟支持
- STEM 原子序数衬度和谱学定量均受厚度与通道效应影响
局限与常见误区
- 观察体积极小，需与更大尺度统计结合
- 制样可能引入非晶层、应变或元素重分布
- 设备与数据解释门槛较高
标准与权威来源
请在正式试验前核对适用产品标准、设备 SOP 和标准的现行版本。